| アイテム | パラメータ |
|---|---|
| マスフローコントローラーの範囲 | ユーザーのニーズに応じてカスタマイズ可能 |
| 流量精度 | <1%FS |
| 流れの直線性 | ±0.3%FS |
| 流量再現性 | ±0.2%FS |
| ターンダウン率 | 100:1 (カスタマイズ可能) |
| 最大比率 | 1000:1 (カスタマイズ可能) |
| 入力圧力 | 100Kpa〜500Kpa(カスタマイズ可能) |
| 動作温度 | -10℃~+50℃ |
| 動作湿度 | <80%RH (結露なきこと) |
| バッテリー寿命 | 20時間連続稼働 |
| 重さ | <8kg (ポータブル) |
| コンプライアンス | HJ57-2017、HJ604-2017、HJ38-2017 |