| 항목 | 매개 변수 |
|---|---|
| 질량 흐름 조절기 범위 | 사용자 필요에 따라 사용자 정의 |
| 흐름 정확성 | < 1%F.S |
| 흐름 선형성 | ±0.3%F.S |
| 흐름 반복성 | ±0.2%F.S |
| 턴다운 비율 | 1001 (개인화) |
| 최대 비율 | 10001 (개인화) |
| 입력 압력 | 100Kpa~500Kpa (개인용) |
| 작동 온도 | -10°C~+50°C |
| 작동 습도 | <80%RH (집화 없이) |
| 배터리 수명 | 20시간 연속 작동 |
| 무게 | <8kg (이용가능) |
| 준수 | HJ57-2017, HJ604-2017, HJ38-2017 |