| Artikel 1 | Parameter |
|---|---|
| Bereik van de massa-stroomregelaar | 0-5000 ml/min, 5000-10000 ml/min |
| Stroomnauwkeurigheid | ≤ 1,0% |
| Onzekerheid over de verdeling van de stromen | ≤ 0,6% |
| Herhaalbaarheid van de stroom | ≤ 0,2% |
| Verdunningsfactor | ≤ 50 bij 2000-3000 ml/min |
| Verminderingspercentage | 1001/200:1 |
| Maximale verhouding | 10001/4000:1 |
| Inlaatdruk | 100 Kpa ¥ 500 Kpa |
| Werktemperatuur | 0°50°C |
| Werkvochtigheid | 0-90% RH |
| Beperking van de druk van de apparatuur | < 1Mpa |
| Werkdrukverschil | 0.05Mpa·0.3Mpa |
| Stroomvoorziening | 110VAC ∼240VAC/50Hz |