| 목 | 매개변수 |
|---|---|
| 질량유량 컨트롤러 범위 | 0-5000ml/분, 5000-10000ml/분 |
| 흐름 정확도 | 1.0% 이하 |
| 흐름 분포 불확실성 | 0.6% 이하 |
| 흐름 반복성 | 0.2% 이하 |
| 희석 인자 | 2000-3000ml/min에 ≤50 |
| 턴다운 비율 | 100:1/200:1 |
| 최대 비율 | 1000:1/4000:1 |
| 입력 압력 | 100Kpa~500Kpa |
| 작동 온도 | 0~50℃ |
| 작동 습도 | 0-90%RH |
| 장비 압력 저항 | <1Mpa |
| 작동 압력 차이 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
| 전원공급장치 | 110VAC~240VAC/50Hz |