| Элемент | Параметр |
|---|---|
| Диапазон регуляторов массового расхода | 0-5000мл/мин, 5000-10000мл/мин |
| Точность расхода | ≤1,0% |
| Неопределенность распределения потока | ≤0,6% |
| Повторяемость потока | ≤0,2% |
| Фактор разбавления | ≤50 при 2000-3000 мл/мин |
| Коэффициент отклонения | 100:1/200:1 |
| Максимальное соотношение | 1000:1/4000:1 |
| Входное давление | 100КПа~500КПа |
| Рабочая температура | 0~50℃ |
| Рабочая влажность | 0-90% относительной влажности |
| Сопротивление давления оборудования | <1 МПа |
| Разница рабочего давления | 0,05 МПа~0,3 МПа |
| Источник питания | 110 В~240 В~/50 Гц |