| รายการ | พารามิเตอร์ |
|---|---|
| ช่วงตัวควบคุมการไหลของมวล | 0-5,000 มล./นาที, 5,000-10,000 มล./นาที |
| ความแม่นยำในการไหล | ≤1.0% |
| ความไม่แน่นอนของการกระจายการไหล | ≤0.6% |
| การทำซ้ำการไหล | ≤0.2% |
| ปัจจัยเจือจาง | ≤50ที่ 2,000-3,000 มล. / นาที |
| อัตราส่วนเทิร์นดาวน์ | 100:1/200:1 |
| อัตราส่วนสูงสุด | 1,000:1/4000:1 |
| แรงดันขาเข้า | 100Kpa~500Kpa |
| อุณหภูมิในการทำงาน | 0 ~ 50 ℃ |
| ความชื้นในการทำงาน | ความชื้นสัมพัทธ์ 0-90% |
| ความต้านทานแรงดันของอุปกรณ์ | <1 เมกะปาสคาล |
| ความแตกต่างของความดันการทำงาน | 0.05Mpa~0.3Mpa |
| พาวเวอร์ซัพพลาย | 110VAC~240VAC/50Hz |