| Pozycja | Parametry |
|---|---|
| Zakres sterownika przepływu masy | 0-5000 ml/min, 5000-10000 ml/min |
| Dokładność przepływu | ≤ 1,0% |
| Niepewność rozkładu przepływów | ≤ 0,6% |
| Powtarzalność przepływu | ≤ 0,2% |
| Współczynnik rozcieńczania | ≤ 50 przy 2000-3000 ml/min |
| Wskaźnik zwrotu | 1001/200:1 |
| Maksymalny współczynnik | 10001/4000:1 |
| Ciśnienie wejściowe | 100Kpa ̇ 500Kpa |
| Temperatura pracy | 0 ̊50°C |
| Wilgotność operacyjna | 0-90% RH |
| Odporność na ciśnienie urządzenia | < 1Mpa |
| Różnica ciśnienia roboczego | 00,05Mpa ≈ 0,3Mpa |
| Zasilanie | 110VAC240VAC/50Hz |