| مورد | پارامتر |
|---|---|
| محدوده کنترل کننده جریان جرمی | 0-5000 میلی لیتر در دقیقه، 5000-10000 میلی لیتر در دقیقه |
| دقت جریان | ≤1.0٪ |
| عدم قطعیت توزیع جریان | ≤0.6٪ |
| تکرارپذیری جریان | ≤0.2٪ |
| فاکتور رقیق سازی | ≤50 در 2000-3000 میلی لیتر در دقیقه |
| نسبت چرخش | 100:1/200:1 |
| حداکثر نسبت | 1000:1/4000:1 |
| فشار ورودی | 100Kpa ~ 500Kpa |
| دمای عملیاتی | 0 تا 50 ℃ |
| رطوبت عملیاتی | 0-90٪ RH |
| مقاومت در برابر فشار تجهیزات | <1 مگاپاسکال |
| اختلاف فشار کاری | 0.05 مگاپاسکال الی 0.3 مگاپاسکال |
| منبع تغذیه | 110VAC-240VAC/50Hz |